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オイル/ガスなど使わず、液体の圧力を直接計測できる
水晶MEMSセンサー

[issued: 2009年6月24日]
[電子部品/個別部品] [計測/検査装置] [Misc.]
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「XP-7000シリーズ」

　エプソントヨコムは2009年6月、液体の圧力を感圧素子に直接伝達して計測する圧力センサー「XP-7000シリーズ」を発表した。圧力を伝達するための媒体としてオイルやガスなどを用いることなく、液体の圧力を計測することができる。主に、河川や上水道などの水位計測や、清浄な環境下における液体の圧力の計測、工業プラントなどの産業装置における高精度の圧力計測などの用途に向ける。発売は2009年10月を予定している。価格は要問い合わせ。

　同社はこれまでに、同社独自の水晶ベースのMEMS（Micro Electro Mechanical Systems）技術「QMEMS」により製造した双音叉型水晶振動子を感圧素子として採用した圧力センサー「TSUシリーズ」を製品化している。このTSUシリーズでは、圧力を伝達する媒体としてシリコンオイルを用いていた。それに対し、XP-7000シリーズでは、新たな圧力の伝達構造を開発することにより、シリコンオイルなどの媒体を介さずに直接圧力を計測することが可能になった。圧力の伝達に媒体を介さないので、計測対象である液体にそれらの媒体が不純物として混入することがない。このため、清浄な環境下における液体の圧力計測や各種装置などの圧力計測の用途で利用が可能である。また、新しい圧力伝達構造の採用により、サイズは直径22mm×40mmに抑えた。このサイズは、TSUシリーズと比べて容積比で57％減に相当する。

　感圧素子としては、TSUシリーズと同じくQMEMSの双音叉型水晶振動子を採用しており、±0.05％FS（フルスケール）という高い圧力特性精度を達成した。この精度は、「直接圧力を計測することが可能な従来製品と比べて1ケタ以上高い」（エプソントヨコム）という。

　XP-7000シリーズの主な仕様は以下のとおり。圧力計測範囲は、0～100kPa（ゲージ圧）で、0～10mの水位計測に対応する。圧力特性精度、温度特性とも±0.05％FS以内。動作温度範囲は－10～50℃。電源電圧は12V。長い電線を使っても出力レベルを確保できるようバッファ回路を付加した「XP-7000MB」と、低消費電流化に対応した「XP-7001MB」の2タイプをそろえる。消費電流はXP-7000MBが8mA、XP-7001MBが1mA（いずれも標準値）。

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7000 エプソントヨコム QMEMS XP 水晶振動子 圧力センサー 双音叉型

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